Wasser ist eine der der bedeutendsten verunreinigungen in der halbleiterfertigung - Genaue Messung von feuchtigkeit
DER中的Dem InsiderwitzHalbleiterfertigungIST ETWAS WAHRES DRAN：“ EST KEINE RAKETENWISSCHAFT - ES IST VIEL SCHWIERIGER！DiefürDie herstellung erforderliche anfangsInvestition ist ronors，und es werdenkostspieligeGeräteBenötigt。Ein Fabrikzyklus dauert typischerweise etwa sechs jahre，bevor ein neuer Investitionszyklus beginnt。Die Gesamte Produktion Wird Mit Relativ Geringen MargenDurchgeführt，Sodass Nur Ein Ein Hoher Ertrag DieRentabilitätGarantiert。Daher Ist es von entscheidender Bedeutung，澳大利亚Zu Vermeiden。
Wasser Ist Die Bedeutendste Verunreinigung在Der Halbleiterfertigung，Wobei EinigeSchätzungenDarauf Hindeuten，Dass ungeeigeignetefeuchtigkeitsbedingungenungenungenungenfür25％derumsatzeinbußenbußenverantwortlichsind。um问题在bezug aufproduktqualität和produktertrag zu verhindern，穆斯森feuchtegehalt and wevertur bei der herstellung vonhalbleiternäußerstäußerstsorgfältigüberwachtwerden。DieHochpräzisenMesslösungenvon VaisalafürDie wichtigsten schritte im ferfigungsverfahren bieten schnelle ansprechzeiten and ansprechzeiten andandassfähigkeita eine vielzahl von umgebungen。在Diesem Beitrag Behandeln Wir参数Wie Feuchte，feuchtigkeit，feuchtigkeitsbedingtingte spuren，taupunkt und frostpunkt。
Hightech-Halbleterherstellung imnanomaßstab
Bei einer extrareinen anwendung wie der hightech-haleterhung imnanomeßstabKönnenspuren von feuchtigkeitzurückbleiben，nachdem verunreinigungen wie staub，fet und andere vett and andere vets andere vert andere vert andere verschmutzende emelte ente ente ente en en en en ente wurden。死亡kann sich negativ auf dieproduktqualitätundden produktertrag auswirken。obwohl esumöglichist，杰德斯·埃因泽尔·瓦尔斯梅尔·沃尔斯特·奥斯·奥斯·阿斯·德·杜尔法伦·祖德·祖德·埃特弗琳，sollte es das das ziel ziel sein，das vorhandensin vorhandensin vorhandensin von von wasserin von wasser mithilfe genauerfe genauerfe genauerfe genauerfe Messungen Zuineungen Zuinimieren。
HLKFürReinräume
heizungs-，lüftungs-undklimaanlagensystemefürReinräume（（HLK）在luftaufbereitungsanlagen oder ventilatorfiltereinheiten eingebaut中的sind typischerweise。Feuchte Kann Prozesse Kontaminieren，麻省理工学院Prozesschemikalien Reagieren Oder问题MIT Elektrostatischer Entladung（ESD）Verursachen。teilweise sind genauigkeiten von±2％fürdie相对feuchte und und±0,25°Cfürdie die die pervertatur erforderlich。Vaisala发件人Eignen Sich理想的Zur Steuerung Von Klimaanlagen，DenWändendes Reinraums的DerLüftungsmaschineOder的Entweder。
Je Nach Verfahren，Das Im ReinraumDurchgeführtWird，KönnenZielfeuchte und -temperatur variieren。死了瓦萨拉humicap®Sensortechnologie Bietet Eine Schnelle ansprechzeit和eineäußerstGute Genauigkeit在Jeder Umgebung，Bei Ausgezeeichneterlangzeitstabilität和Langen wartungsintervallen。Humicap basiert aufdünnfilm-Polymertechnologie，und die Sensoren Werden in den EigenenReinräumenvon von Vaisala Hergestellt。
Prozessleitung的Gasqualität
ReinraumvorgängeErfordern Hochwertige Prozessgase。dieüberwachungdes feuchtegehalts in der prozessgasleitung verhindert eine kontaminierung durch feuchtigkeit，die zu MiteralverlustführenKann。Das Ziel Besteht Im Allgemeinen Darin，Den Feuchtegehalt Zu Senken。der richtige参数，derdafürüberwachtwerden muss，ist der taupunkt。Bei der auswahl Eines传感器Sind Eine Schnelle Ansprechzeit和Kondensationstoleranz Wichtig。sieKönnendazu beitragen，ZuverlässigeBetriebsabläufe和Einen Reibungslosen prozesshochlauf auch nachl nachlängerenstillsseiTszeitenZuGewährleisten。
在Der VaisalaDrycap®Technologie kommt insere betriebseigenedünnfilm-Polymertechnologie zum einsatz。sieermöglichteineäußerstHoheempfindlichkeit，Eine柔韧性Optimible optimierungfürEinevielzahl von umgebungen und anwendungen sowie sowielangzeitstabilitätselbst selbst in rauen umgebungen。Die Reinigungsfunktion kannunerwünschteRückständeaus dem dunnfilm entfernen und and oine langfristige genauigkeit auch auch unter unter unter suboptimalen bedingingungen bieten。
für死亡自动核心funktion von van vaisala werden ein betriebseigenes设计和ein ein betriebseigener algorithmus genutzt，um umgebungsbedtete thernungnungnungseffektefektefekte auf auf auf auf auf die die die sensorstrukturen zu verhindern。dieüberwachungder Sensorleistung im laufe der Zeitermöglichtes dem传感器，änderungender empfindlichkeit Zu Korrigieren。因此，Lassen Sich Dielangzeitstabilitätverbessern，塞纳河lebensdauer weitüberdieherkömmlichersensoren hinaus hinausverlängern和die auswirkungen schwirkungen schwieriger umgebungsbed umgebungsbendingingingingingingingingingingingingingingingeine seine leistung leistung verringern。Vaisala Sensoren bietenaußerdemeine sehr schnelle ansprechzeit。因此，Kann Rasch Reagiert Werden，Um Materialverluste BeiSystemausfällenZu Vermeiden。
Druckluftqualität
Die Reinheit derDruckluft.IST在Der ReinraumumgebungFürDie Meisten Industrieanlagen von entscheidender Bedeutung。derZielwertfürüberschüssigeFeuchtigkeitist sehr niedrig：ZielwertefürDenTaupunktKönnenunter -80°C LIEGEN，und untormererweise Haben Systeme Mehrere Mehrere ArarmwerteArmarwerteArmarWertealarmwerteüberdiesem Zielwert。Vaisala produkte werdenfürden gesamten Messbereich streng getestet和kalibriert，um hochgenaue sensormesswertezugewährleistenund das risiko einer einer kostsperspieligenübertrocknungZubertrocknung ZuIndern。Die Schnelle Ansprechzeit der Vaisala feuchtesensorzellenunterstütztRechtzeitigeAlarme，麻省理工学院Denen问题Sofort Erkannt和Angegangen WerdenKönnen。
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