LösungenFürAlbleiterProzesse,Anlagenüberwachungund -Steuerung

Die Fertigung von halbleiterwafern和Mikroelektronik ist Ein anspruchsvoller Prozess Mit WenigSpielraumfürFehler。Die Industrie Ist AufLeistungsstarkeüberwachungs-undMesstechnikfürpräziseChemikaliekalienzusammensetzungenund Altiblesherische bedingungen bedingungen angewiesen。

halbleiter  - 晶圆

nasschemikalien在echtzeit

在Den Halbleiterwaferanlagen WerdenWährenddes Gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von von chemikalien verbraucht。DieZuverlässigkeitJederChemikalienlösungHat Daher OberstePriordität,Da Selbst Die Geringste abweichung von der spezifikatie eine kostspielige kontspielige kontamination der dergerätedergeräteund ausschuss and ausschuss von wafern verursachen kann。

Fotolithografie

waferqualität在der fotolithografie中

DieQualitätdes Integrierten Schaltkreismusters bei der halbleterherstellhunghunghunghengt von den stepperbedingingungen ab。Verbessernsiepräzionsklimatisierungund dieprozesskapazitätfürwaferstepper durch genaue genaue genaue messungen von von von von von von von von von von von von von von von und und und und feuchte。

n2-gasleitung

druckluft-und n2-prozessleitungen

Wenn Sie Druckluft- Oder Stickstoffprozessleitungen Verwenden,Hilft Ihnen Die Taupunktmessung,Ressourcen Zu Sparen,IndemübermäßigeLufttrocknungund Korrosion und Korrosion undorrosionderGeräteDergeräteverätevermiedenwerden。Die vaisala DrycapTechnologieErmöglichtEine Schnelle ansprechzeit dank genauigkeit和geringem wartungsaufwand。

Anlagensteuerung

Anlagensteuerung

Eine unzureichendebelüftungverringert nicht nur das wohlbefinden der mitarbeiter*ninen,sondern auch dieproduktivitäterheblich,und zwar um 18%。Genaue Messungen von Feuchte,CO2温度温和MithilfeZuverläsiger,Langlebiger和Rückführbarerhlk-sensorenSorgenDafür,Dass Sowohl Die Energieeffizienz als auch das wohlbefinden der Mitarbeiter*InnenGewährlelleistetWerden。

Warum Vaisala?

Vaisalaverfügtüberumfassendes fachwissen im bereich der halbleiterIndustrie und ist einzuverlässiger合作伙伴fürinsere kunden。Wir kennen uns in dieser Geschäftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen – von der Überwachung von Chemikalien und Prozessqualität bis hin zur Überwachung der Umgebungsluft.Unserprozessverständniswird durch unseren eigenen reinraum und die herstellung hochwertiger mikrochipsfürvaisala produkte und f&e-e-zweckevervollständigt。vaisala ist bestrebt,produkteüberibedie gesamte lebensdauer zuunterstützen。ihrerNähe中的Wir Bieten erstklassigen服务和支持。