最先进的洁净室

在Vaisala,我们在我们自己的洁净室中研究,开发和制造传感器。我们的内部清洁室设施和传感器工厂是我们的核心功能。我们还拥有自己的聚合物实验室,为传感器生产聚合物。

洁净室是控制空气质量,温度和湿度的区域,以确保保护敏感的设备免受任何可能的污染。 

房间中的空气使用HEPA过滤器连续过滤,以去除任何可能会损坏任何高度敏感材料或使用的杂质。房间中的空气每小时100次,甚至在照明区域/小时甚至400次。

洁净室是一个几乎没有粒子的环境,在任何给定的立方英尺的空气中,颗粒不超过0.5微米。在光刻区域中,空气中的立方英尺不超过0.5微米的100个部分。在洁净室里工作的每个人都必须穿特殊的防护服,以确保没有将纤维,头发或皮肤添加到房间的气氛中。

传感器晶圆在洁净室里最多三个月,在此期间,他们进行了100多次统计过程控制测量。在每个生产步骤之后,在清洁室内的显微镜之前,在进行进一步处理之前,都会通过显微镜仔细检查传感器。之后,将它们带到测试区域,在该测试区域在传感器实际使用时面对的相同条件下进行测试。

Vaisala的第一个洁净室建于1980年。当前的500平方米洁净室自2004年以来一直在运行。

Vaisala洁净室规格:

区域 500平方米
湿度 40%RH
干燥室的湿度 15%RH
温度 22°C

空气纯度(粒子计数)符合ISO 5和ISO 6标准:

ISO 5(照明区域) <100超过0,5µm颗粒 / ft3的空气
空气循环400次/小时
ISO 6(其他过程区域) <1,000超过0,5µm颗粒 / ft3的空气
空气循环100次/小时


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