l'eau est l'un des Contiminans les les la la Farneration de de半导体；Mesurez AvecPrécisionvotrehumidititéet votretempérature
Il y a du vrai dans la mauvaise blague en matière de制造半导体: « Ce n'est pas sorcier – c'est beaucoup plus difficile ! » La fabrication est complexe et chronophage, le cycle de fabrication (fab) se situant entre 12 et 20 semaines. L'investissement initial requis pour la fabrication est colossal et la fabrication nécessite un équipement coûteux. Un cycle de fabrication dure généralement environ six ans avant qu'un nouveau cycle d'investissement ne commence, et toute la production est réalisée avec des marges relativement minces, ce qui signifie que seul un rendement élevé garantit la rentabilité. Par conséquent, il est extrêmement important d'éviter les rebuts.
L'eau est le contaminant le plus important dans la fabrication de semi-conducteurs, certaines estimations indiquant que des conditions d'humidité inappropriées représentent 25 % des pertes de revenus. Pour éviter les problèmes de qualité et de rendement de produit, les niveaux d'humidité et de température doivent être surveillés de très près dans le cadre de la fabrication des semi-conducteurs. Les solutions de mesure très précises de Vaisala pour les principales étapes du processus de fabrication offrent des temps de réponse rapides et une adaptabilité à une variété d'environnements. Dans cet article, nous aborderons des paramètres tels que l'humidité, l'humidité associée à l'humidité résiduelle, le point de rosée et le point de gel.
制造半导体的制造源
Pour une application extra-pure telle que la fabrication de semi-conducteurs à l'échelle nanométrique de haute technologie, l'humidité résiduelle peut subsister après l'élimination des impuretés telles que la poussière, la graisse et d'autres éléments polluants. Cela peut avoir un impact négatif sur la qualité et le rendement du produit. Bien qu'il soit impossible d'éliminer complètement chaque molécule d'eau du processus, l'objectif devrait consister à réduire la présence d'eau à l'aide de mesures précises.
CVC des salles blanches
LesSystèmesde绳索，通风等气候化（CVC）des salles blanches sontgénérementintégrésauxuintésde thair d'iar oi aux uins uins de filtrage des ventilateurs。L'HumiditéPeut污染物les processus，réagirAvecles produits chimiques du processus ou causer desproblèmesdedechargendéchargeélectrostique（ESD）。dans cas，des desprécisisionsde +/- 2％pourl'Humidité相对et de +/- 0,25°C pour latempératuresont sont sont secretiss。les transmetteurs vaisala sont carfaits po popoltôlerles dispositifs d de Climatisation，Soit dans le dispositif de veltilation，soit dan dan les les les les les les de la salle blanche。
Selon le procédé exécuté en salle blanche, l'humidité et la température cibles peuvent varier. La technologie de capteursHUMICAP®de Vaisala offre un temps de réponse rapide et une très bonne précision dans n'importe quel environnement, avec une excellente stabilité à long terme et de longs intervalles de maintenance. HUMICAP, capteur basé sur la technologie à couches minces polymères, est produit dans les propres salles blanches de Vaisala.
QualitéDuGaz de la Ligne de Process
Les opérations en salle blanche nécessitent des gaz de process de haute qualité, et la surveillance des niveaux d'humidité dans la ligne de gaz de process empêche la contamination par l'humidité, pouvant entraîner la perte de matériaux. L'objectif vise généralement à réduire l'humidité au minimum, et le paramètre adéquat à surveiller à ce titre n'est autre que le point de rosée. Lors de la sélection d'un capteur, un temps de réponse rapide et une tolérance à la condensation sont importants, car ils peuvent aider à garantir des opérations fiables et une montée en puissance en douceur du process, même après une longue période d'arrêt.
La TechnologieDRYCAP®de Vaisala utilise notre technologie brevetée à couches minces polymères, qui génère une très haute sensibilité, une optimisation flexible pour une variété d'environnements et d'applications, ainsi qu'une stabilité à long terme même dans les environnements difficiles. La fonction de purge peut éliminer les résidus indésirables des couches minces, permettant une précision à long terme même dans des conditions sous-optimales.
la fonctiond'étalonnageautomatique de vaisala faitappelàune概念and and算法decorpusifs倒入supprimer les effets du Vieillissement copteurs des capteurs des capteurs。LA监视表演du capteur au fil du temps permet au capteur de corriger desensibilitépour pouraméliorerlastabilité-longente teme，长期，延长的人表演。les capteurs vaisala ontégalementun temps deréponseExtrêmementRapide，permettant uneréactionréactionpour fisteviter la perte deMatériauxen cas de panne dusystème。
QualitédeL'Aircomprimé
LaPropretéDel'air compriméest essentielle dans l'environnement des salles blanches pour la plupart des installations industrielles, et le niveau d'humidité excessive cible est très bas : les niveaux de point de rosée cibles peuvent être inférieurs à -80 °C et les systèmes ont généralement plusieurs niveauxD'armale au-dessus de ce niveau cible。les Produits vaisala sont rigousementtestésetcalibréspour toute la plage de te to afin de garantir de de capteurtrèsprécises，réduisantainsi le risque desurséchéchageCoûteuxcoûteux。Le Temps deréponseRapide des Cullules du capteurd'umidititédevaisala prend en Charge en Carlage des Alarmes nemps voulu qui qui permettent d'Identifier et derésoudrejustive to tout tout tout tout toutproblème。
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