KOH-Atzen冯Silizium

Da温度和Konzentration der Atzlosung杯großen Einfluss auf Nassatzraten有死,能帮贝一Atzmittelkonzentration verschiedene Atzprozesse optimiert和Atzendpunkte bestimmt了。Der Kaliumhydroxid (KOH) -Atzprozess萤石z。b . verbessert了,要是死Zusammensetzung Der erhitzten KOH / H2O-Losung kontinuierlich麻省民主党Vaisala K-PATENTS®Halbleiterrefraktometer uberwacht将。麻省理工学院fortschreitender Atzung将要KOH(和zwar OH-Ionen) im Prozess verbraucht,和弗里希Atzmittel ersetzt给弄了。

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Vaisala K-PATENTS Halbleiterrefraktometer ermoglichen Fabriken Folgendes:

• 在Echtzeit Uberwachung der Konzentration des KOH-Atzbades和Bestimmung des korrekten Atzendpunkts
• Deutliche签der KOH-Atzbadlebensdauer,并把sogar一张Verdoppelung der Badlebensdauer下降
• 签der Nutzung冯·Atzmitteln Minimierung Chemikalienabfalls

Im Anwendungshinweis冯Vaisala将erklart,是不是麻省理工学院einem Halbleiterrefraktometer der Prozess潮湿的empfohlener Montagestellen毛皮optimale Leistung verbessert了萤石。

Gelostes Silikat erhoht窝Konzentrationsmesswert。Im Anwendungshinweis将欧什erlautert,是不是您的估计值抵消麻省理工学院einfacher Bilanzberechnung和ohne zusatzliche Messungen kompensieren能帮。

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阿莱Anwendungen der Uberwachung冯和Fehlererkennung Fabrikchemikalienprozessen

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