soluciones para procesos de semiconductores,monitoreo y Control de Instalaciones

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Aplicaciones

químicaHúmedaen tiempo真实

Las Plantas de obleas de emiciconductores消费toneladas de prodrodosquímicosdurante todo el proceso deFabricación。La confiabilidad de cadasoluciónquímicaes la principalpreocupacióndelos Fabricantes,ya que complusolaMásMínimaDesviacióndelaespecificaciónpuedepuede puede puede puede pued pued lacontaminacióndeliquo y del equipo y deloquo y disterequ y disterdicios an las las las las las ob obleas。

Monitoreo de los procesosquímicosde laFabricación

Calidad de la oblea enfotolitografía

La Calidad delPatróndeCircuito Integrado en lafabricacióndeemicinductores依赖de las condiciones paso a paso。Mejore laprecisiónddel aire acondicionado y la la capeso a paso a paso de obleas con una una una una una precisa precisa de lapresiónde lapresióndel aire,la temperatura y la humedad。

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líneasde proceso de aire comprimido y n2

siestáutizandolíneasde proceso de aire comprimido onitrógeno,laMediciónddel punto derocíoloAyudaráa ahorrar rocursos al ehorrar emevitar evitar el evitar el evitar el evitare el secado Excesivo excesivo del aire y lacorrosióncorrosióndel Equipo。latecnologíadrycap de vaisala允许deempo de respuestarápidoconprecisióny bajas necesidades de mantenimiento。

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