detecçãodefalhas e Moneratoramento do processoquímicodefabricação

如MediçõesDeíndicaDeRefração（ri）Em Linhasãoatécnicaescolhida para para para para para oer deperóxidodehidrogênioem misturas cmp。没有Entanto，teor deperóxidonãonuninnénãonuninnicae insesse。Geralmente，正如MisturasSão肠道所做的fabricante em forma compenta，diluídasposteriormenteemáguaeperóxidonafábrica。Apesar de a densidade da mistura ser umparâmetroCríticopara desempenho de cmp，densidade de entrada pode pode variar de acord com o lote。

MediçõesdeíndicedeRefraçãosees estabeleceram como atécnicadeescolha para acelectificaçãodetee tee tee teeperóxidoem misturas para cmp detungstênio。muitos fluxos de Processo Expente usam cmp como ferramenta para para criar criar estruturas de Courcalo，aumentar trastaramenteonúmerode etapas de cmp – e，e，portanto，o normero de oportunidades para perda para perda de rendimento se a reendimento se a rendendimento se a composious deviar deviar deviar deviar demifecificausifica。Apesar deMediçõesdeTitulaçãoAutomáticaoferecer oferecer oferecer ofercer ofercerados ofertamente precisos，elasimpéemaiorescustos com Equimatementos capitaiss capitais e demanutençãocontínuos，oferecendo apenas apenas apenas amostras amostras amostras amostras amostras amostras em Intervalos especececifalos。OíndiceDeRefração，UmaMediçãoContínuaqueNãoConsomeMistura，Ajuda os Frunchantes siendenifificar as a falhas decomposiçãodemistura rapidente，reduzindo o noumero de obreias em risco。

如MediçõesdeíndicedeRefraçãoemLinha se estabeleceram como atécnicade escolha para paradetecçãodefalhas em mistura de cmp e cmp e sistemas deastiondistribluiçãodeabragicanteslíderanteslíderesLíderes。oíndicedeRefração，Uma Medidacontínuae sem amostra，ajuda os Fabricantes识别符号为MudançasnaComposiçãodada mistura rapidente。

Quando calibrado para a temperatura de uma mistura específica/características do índice de refração, as medidas do índice de refração podem determinar a concentração de peróxido de hidrogênio com uma precisão de até ±0,02% por peso, tanto para misturas de cobre quanto tungstênio。Em estudos de longo prazo nesta fabricação de ponta, as medições para processos CMP de tecnologia de nó baixa detectou as composições de mistura de maneira confiável por três anos, sem manutenção do instrumento além do rotineiro nivelamento do tanque misturador.

Qualidade dos produtosquímicosde Entrada foi deixadanasmãosdos do fornecedores de produtosquímicos。OS Fabricantes dos semicondutorestêmpoucaou nenhuma deectar sissialascomquímicasde processo de seus de seus fornecedores。foi descoberto que oprodutoéexpostoQualquerAlteraçãoQuímicade Entrada，NãoEmpertaa Causa，Do fornecedor，Mecânicoou Humano。Na Vishdade，pode-se dizer que oprodutoéusadocomométodode Monitoramento para os produtosquímicos。este trabalhodiscutiráa variedade diferentes diferentes demodias de Monitoramento e Sugerir aspráticasrocomendadas para apla aplaaplicaçãoeconômicaParauma uma uma grande vardiedade de produtos de produtosquímicosquímicosde samicondutores de samicondutores。soluçãoParao Qualitya geralnãoéumúnicodispositivo ou esquema，mas Sim sim um conjunto depositivos eAlteraçãodopensamento pensamento donaáreadedistribluiçãoquímica。dados de apoio e unos ussados bersimentais seacitantestambémSerãoDiscutidospara para apoiar ereforçaros achados。