散装化学品输送系统
半导体行业使用范围广泛的湿处理化学品、蚀刻剂,清洗剂,CMP泥浆制造集成电路或芯片包括硅片。
散装化学品运输
使用Vaisala K-PATENTS®半导体折射计用于测量液体浓度带来极大的好处,因为它有助于节约:
- 优化腐蚀过程和增加腐蚀溶液的沐浴生活(例如加热KOH)。
- 提高晶片吞吐量和减少清洁化学消费(例如EKC)。
- 对CMP实现严格控制泥浆和更好的整平过程的均匀性。
- 防止错误的散装化学品和化学浓度进入过程和有效地停止昂贵的设备损坏。
- 折射计措施KOH浓度(氢氧化钾)、硫酸(硫酸),高频(氢氟酸),摘要(氢氧化铵)、盐酸(盐酸),异丙醇(异丙醇),EKC, CMP泥浆等。
Vaisala应用注意解释了一个半导体折射计可以改善的过程,建议安装点最佳性能,并介绍了不久我们半导体折射计是基于可靠的技术。
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