VAISALA K-PATENTS®分号折光仪PR-23-MS具有内置的，超纯的，改良的PTFE流动池，旨在防止所有金属和腐蚀零件与工艺液体接触。所有润湿零件均由超纯净的修饰PTFE制成。棱镜材料是蓝宝石。
PR-23毫秒直接使用支柱或耀斑装配直接安装。紧凑的设计允许将其集成到湿长凳或橱柜中，在橱柜中，对脚部打印区域的需求非常低。
溶解的固体浓度是通过对溶液的折射率进行光学测量来确定的。该原则的优点是可以使用相同的仪器来测量任何化学物质。
如果化学物质不在规格范围内，则PR-23-MS提供连续的4-20 MA或数字测量信号，并立即对控制系统的反馈。PR-23-ms物理上是一种小型设备，易于安装在散装化学物质中，并且在使用化学混合，尖峰和监测应用中。
使用Vaisala K-Patents®Pr-23-ms，您可以：
- 防止错误的化学物质进入制造过程。
- 优化蚀刻过程并增加蚀刻溶液的浴寿命（例如加热KOH）。
- 将晶圆吞吐量通常增加 +25％，并减少Feol和Beol清洁中的清洁化学消耗（例如SC-1或EKC-265）。
- 严格控制CMP浆液和平面化过程的更好均匀性。
主要特点：
- 典型的精度为0.1％，重量，例如用于水中的HCl。对于多组分解决方案，测量信号可作为校验和验证。
- 获得专利的核心（美国专利号US6067151）。
- 双连接性：一个发射器可以操作两个传感器。稍后可以轻松地集成第二个传感器。
- 工艺温度范围：-20°C - 150°C（-4°F - 300°F）
- 通过内置PT1000和自动温度补偿的快速处理温度测量。
- ATEX批准了第二区，区域分类EX II 3 G EEX NA II T4。
- FM批准为I级Div。2，A组，B，C和D，T6。
- CSA获得了I类，Div。2，A组，B，C和D，T4。
- CCSAU获得电气安全性认证，传感器：I类，污染物。3;发射器：I类，污染物。2;安装猫。ii。