超过集成电路制造的高精度要求:Vaisala的角色在无尘室的仪器
客户端:中国电子系统工程CEFOF和半导体制造商北京内存技术,Inc . (BJMT)
挑战:创造一个洁净室环境监控系统能够监测温度和相对湿度公差很紧
解决方案:Vaisala HMT370EX, Vaisala HMT120和Vaisala HMT330。所有完美的具有挑战性的工艺条件提供优越的测量
在全球消费品市场,集成电路(ic)的需求持续增加。替代燃料汽车等产品市场增长,智能驾驶系统,智能终端,和5 g意味着这种需求短期内不太可能慢。
作为高精度工业IC制造业对其整个生产过程和环境极其严格的要求,这也许是最重要的时需要正确构造IC无尘室。在IC工厂,运营商必须穿密封防护服和鞋套,然后通过几个独立的隔离门进入洁净室前。此外,在IC无尘室环境必须仔细监控和控制温度和湿度等因素。
高洁净室标准要求更准确的监测
中国电子系统工程(CEFOC)是中国最早的公司之一,专门从事机电洁净室设备的安装。他们提供全面的“交钥匙”工程服务包括设计、采购、项目管理、建设、和设施管理,加上产品洁净室相关的生产流程,集成电路制造企业。
2021年,半导体制造商北京内存技术,Inc . (BJMT)需要新的IC无尘室,和他们有具体要求高精度和高稳定环境监测。密切合作在这个项目中,CEFOC Vaisala成功安装了Vaisala HMT330工业温度和湿度变送器的Vaisala本质安全温度和湿度变送器HMT370EX,和Vaisala温度和湿度变送器HMT120系列产品的洁净室新BJMT无尘室。自安装、BJMT报告说,所有这些Vaisala仪器和发射机运行稳定,测量准确。
在严酷的环境下的Vaisala HMT330提供精确的测量数据,在苛刻的要求,为不同的应用程序环境,也可以定制来满足不同的客户需求。
Vaisala的测量精度提供卓越的性能
生产新的,较小的28 nm芯片需要洁净室环境温度测量精度的最大±0.3°C和最大相对湿度测量精度±3%。如果超过温度和湿度参数,IC产品产量、性能和可靠性会大大受到影响。张齐营销管理中心总经理CEFOC,评论,“不仅Vaisala产品的测量精度完全满足洁净室设计标准,但也显著缩小范围的标准错误。是减少了三分之一的基准误差,即和温度、湿度±1%±0.1°C,保证洁净室的可靠运行。张琪”补充说,“对于项目的整体精度和稳定性,Vaisala的测量仪器成为这个项目的理想选择。”
张齐接着说,“早在2020年,在招标阶段的BJMT洁净室工程,我们知道Vaisala的产品可以完全满足客户的要求对温度和湿度测量的要求。出于这个原因,我们的报价包括Vaisala的测量仪器,由于这次Vaisala继续深化我们之间的合作。不仅Vaisala产品的测量精度完全满足洁净室设计标准也明显缩小的范围标准错误,减少三分之一的基准误差,即和温度、湿度±1%±0.1°C。这个保证洁净室的可靠运行,使得Vaisala这个项目的测量仪器的理想选择。”
的Vaisala HMT370EX不会导致事故或设备损坏甚至滥用或故障的事件。产品取得了许多内在的安全证书。除了测量相对湿度和温度,HMT370EX还支持其他湿度参数的输出如露点温度、湿球温度,绝对湿度、混合比、水浓度、水质量分数、水蒸气压力和焓。
及时发货是一样重要的增加精度
对于高精度这样的建设项目,时间可以是一样重要的精密技术安装。通常会有严格的交付计划,在产品和项目所需的材料,以及缺乏一个关键材料将直接影响整个进度。
全球COVID-19流行增加了不确定性产品的可用性,使及时交付更为重要。BJMT的项目周期是非常紧密的,高质量的测量产品如期完成项目的关键。尽管产品供应短缺,Vaisala及其经销商保证项目所需的产品即使在正式签署购货合同。Vaisala确保内部和外部资源的充分协调交付商定的时间表上的关键产品。
总之,通过满足高精度的要求要求集成电路制造、Vaisala的产品不仅完全满足洁净室设计标准也显著缩小范围的标准错误,减少三分之一的基准误差。因此,Vaisala的测量仪器成为BJMT洁净室项目的理想选择,和快速反应,甚至从一个海洋,广泛采购瓶颈应对,确保及时交货。
张齐所说,“Vaisala也赢得了支持和信任CEFOC以其稳定可靠的产品性能,优秀的产品,并快速响应服务。我们相信与CEFOC Vaisala将进行更深层次的战略合作在不久的将来,帮助双方建立一个更强的品牌在建设和应用场景更精密的产品。”
的Vaisala HMT120被安装的设备,一个屏幕保护标签还在。HMT120是温度和湿度变送器为无尘室建造和类似的环境中,与该领域的智能测量探针,可以更换容易,跟踪测量。
